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2024-01-03 HONDA本多電子 石英振動體清洗機實現低損傷和高清潔度的新一代清潔，具有小型化圖案的晶圓，具有低損傷 ■ 超聲波疊加在石英振動體上，清洗半導體晶圓通過化學溶液將超聲波振動從石英振動器傳播到半導體晶圓，接觸點處的化學溶液振動，加速度去除表面的污垢。■ 實現清潔清潔，減少對半導體晶圓的損壞通過使用石英與化學溶液接觸，與使用橡膠材料的設備（如填料）相比，不會出現橡膠的洗脫或磨損。
產品型號：W-357-1MQG-SKC廠商性質：經銷商更新時間：2024-11-29訪 問 量：352
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HONDA本多電子 石英振動體清洗機
實現低損傷和高清潔度的新一代清潔，具有小型化圖案的晶圓，具有低損傷 ■ 超聲波疊加在石英振動體上，清洗半導體晶圓通過
化學溶液將超聲波振動從石英振動器傳播到半導體晶圓，接觸點處的化學溶液振動，加速度去除表面的污垢。
■ 實現清潔清潔，減少對半導體晶圓的損壞通過使用石英與化學溶液接觸，與使用橡膠材料的設備（如填料）相比，不會出現橡膠的洗脫或磨損。
2006年，我們成為一家將石英振動超聲波清洗裝置商業(yè)化的公司。在這種方法中，超聲波疊加在石英振動器上以清潔半導體晶圓。
與批量清洗和流水清洗相比，可以減少化學溶液的使用量，并且由于接液部件僅是石英玻璃和橡膠材料（如填料）不與液體接觸，因此可以保持高水平的清潔度。
此外，通過根據用途準備石英振動器的形狀，可以根據需要進行有效的清潔，例如低損傷清潔、大面積清潔以及斜面（端面）和缺口（晶圓端面的切口）的清潔。
HONDA本多電子 石英振動體清洗機
由于配備了換能器冷卻功能，因此通過用氣體（氮氣等）冷卻換能器，可以穩(wěn)定連續(xù)運行，而不會出現頻率波動。此外，通過冷卻，溫度不會突然變化，使用壽命長。
磨邊后的抗蝕劑殘留物去除，灰化后的聚合物去除，CMP后的柵極電極清洗
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