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2024-12-11產(chǎn)品中心/ products
SAKAGUCHI坂口電熱ExLASER激光ExLASER激光®ExLASER®是一種多功能激光平面瞬時加熱裝置。
聯(lián)系電話:075529008188
SAKAGUCHI坂口電熱ExLASER激光
ExLASER激光®
ExLASER®是一種多功能激光平面瞬時加熱裝置。
長處
可實現(xiàn)超快的溫度上升和下降。
一次均勻加熱 2 英寸基板
只有被加熱的物體才能直接加熱。
可根據(jù)工藝進行溫度控制
在不加熱大氣的情況下節(jié)能
應(yīng)用實例
MBE設(shè)備的基板加熱
晶圓退火(SiC、GaAS等)
可以對多層器件進行表面退火(與小型化器件兼容)
日本原子能機構(gòu) 日本
激光功率:100W
尺寸:H251×W200×D253(mm)
使用 EXL-CT-010DS55,對安裝在真空室中的樣品進行激光加熱。 溫度分布是從樣品的背面(與激光照射表面相反)測量的。
溫度分布藍寶石襯底溫度分布
(激光功率:1000W)
藍寶石
襯底溫度快速升降(平均襯底溫度)(激光功率:1000W)
溫度分布金屬板溫度
分布
(激光功率:86W焦點)
溫度傾斜圖 金屬板的溫度
型號 EXL-CT-010-DS55 | |||
---|---|---|---|
激光照射方式 | 直接型 | 機身尺寸 | 高 625mm ×寬 700mm ×深 320mm |
激光功率 | 高達 1kW | 附屬品 | 專用冷水機組 |
激光波長 | 808納米 | 額定 | 主機:1P200V20A 冷水機:1P200V15A |
激光幾何形狀 | 廣場 | ||
光學(xué)(均勻性) | 均質(zhì)機 (±5%) | 言論 | JST原創(chuàng)建模 開發(fā)產(chǎn)品(FY17) |
加熱區(qū) | □ 55mm | ||
工作距離 | 400毫米~ |
* 以上為標準規(guī)格。 可根據(jù)客戶要求進行更改。
真空室
溫度控制單元 ?輻射溫度計 ?數(shù)字指示控制器
?紅外線傳輸窗口
PCB 支架(用于 2 英寸板)
用于組合專用基板支架的光學(xué)系統(tǒng)(與□10mm板兼容)
各種襯底(藍寶石、硅、砷化鎵等)
SAKAGUCHI坂口電熱ExLASER激光
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