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激光加工?,掃描光學(xué)系統(tǒng)和聚光光學(xué)系統(tǒng)

更新時間:2024-02-27      瀏覽次數(shù):401

掃描光學(xué)系統(tǒng)和聚光光學(xué)系統(tǒng)

無掩模光刻,一般根據(jù)CAD數(shù)據(jù)進(jìn)行直描加工。
根據(jù)掃描方法不同,可分為掃描光學(xué)系統(tǒng)和聚光光學(xué)系統(tǒng)。(也有兩者結(jié)合的混合型)


掃描光學(xué)系統(tǒng)聚光光學(xué)系統(tǒng)
掃描方法振鏡掃描平臺掃描
掃描速度高速低速
掃描區(qū)域
聚光方法fθ透鏡物鏡
光斑尺寸數(shù)10μ ? 數(shù)100μ亞微米 ? 數(shù)10μ
焦點(diǎn)深度
掃描系統(tǒng)


聚光系統(tǒng)(附觀察系統(tǒng))





















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